MKS Instruments,Inc.是儀器、系統(tǒng)、子系統(tǒng)和過程控制解決方案的全球供應(yīng)商,這些解決方案測量、監(jiān)控、交付、分析、供電和控制先進制造過程的關(guān)鍵參數(shù),以提高客戶的過程性能和生產(chǎn)力。他們的產(chǎn)品源自他們在壓力測量和控制、流量測量和控制、氣體和蒸汽輸送、氣體成分分析、電子控制技術(shù)、反應(yīng)氣體發(fā)生和輸送、發(fā)電和輸送、真空技術(shù)、激光、光子學(xué)、光學(xué)、精密運動控制、振動控制和基于激光的制造系統(tǒng)解決方案。下面將是我們?yōu)槟榻B的美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列(MKS質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹),文章概述了該產(chǎn)品的特性及規(guī)格,如果您想要了解,您可以繼續(xù)往下閱讀!
1、MKS質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹
C系列質(zhì)量流量控制器(MFC)是緊湊型快速響應(yīng)型號,使用基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的流量傳感器,適用于非腐蝕性氣體應(yīng)用。它的滿量程流量范圍為15至14,000 sccm(N2),控制范圍從低至滿量程的0.1%到高達滿量程的100%。提供模擬(0至5 VDC)、RS485、PROFINET®和Modbus通信接口。該器件的全量程流量范圍為14000 sccm至50000 sccm,N2的控制范圍為低至全量程的0.1%至全量程的100%,也可用作流量計。
2、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列特性
CMA50A緊湊型設(shè)計僅1英寸(25.4毫米),高度不到4.4英寸(111.8毫米)。4 VCR®公頭的標準長度為4.88英寸(124毫米),0.25英寸壓縮密封氣體管線連接的標準長度為4.54英寸(113毫米)。還提供下載版本。低熱質(zhì)量MEMS傳感器可快速感測流量變化并具有低噪聲輸出。傳感器的固態(tài)設(shè)計使其能夠抵抗水凝結(jié)、顆粒、壓力沖擊和振動。快速響應(yīng)、寬動態(tài)控制范圍和0.8%的設(shè)定點精度使該MFC成為使用非腐蝕性氣體的關(guān)鍵過程應(yīng)用中流量控制的絕佳選擇。典型用途包括質(zhì)譜、真空鍍膜、生物反應(yīng)器以及許多其他應(yīng)用。CMA50A包含一個快速作用電磁控制閥,通過MFC卓越的流量信號處理和控制算法與流量傳感器耦合。這使得設(shè)定點的響應(yīng)時間小于100毫秒。
3、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列特點
①小于100毫秒的超快響應(yīng)時間
②控制范圍為滿量程的0.1至100%
③設(shè)定點的精度為±0.8%
④最小的零位和量程漂移確保長期再現(xiàn)性
⑤表面貼裝接口可用于緊湊型氣體面板設(shè)計
⑥用于設(shè)置和診斷的嵌入式網(wǎng)絡(luò)瀏覽器
4、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列規(guī)格
①滿量程流量范圍:14,001-50,000 sccm(N2)
②最大入口壓力:80磅/平方英寸
③正常工作壓差:14001至50000 sccm:30至45 psid(N2)
④耐壓:232磅/平方英寸/16巴
⑤爆破壓力:1000磅/平方英寸/70巴
⑥控制范圍數(shù)字:I/O:滿量程的0.1%至100%;模擬I/O:滿量程的0.2%至100%
⑦重復(fù)性:讀數(shù)的±0.2%
⑧零溫度系數(shù):≤滿量程的0.005%/°C
⑨跨度溫度系數(shù):≤讀數(shù)的0.06%/°C
⑩壓力系數(shù):小于讀數(shù)的0.025%/psi
5、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列其他信息參數(shù)
①工作溫度:10-50°C(32-122°F)
②儲存溫度:0-60°C(32-140°F)
③配件類型兼容:Swagelok®4 VCR®外螺紋;表面安裝(O形圈和W形密封件);0.25英寸Swagelok壓縮
④通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性:小于最大值的0.1%使用閥門關(guān)閉超控命令的滿量程(為了確保無流量,需要一個單獨的強制截止閥)
⑤接液材料:鋁、不銹鋼、硅、氧化硅、碳化硅、Viton®、球形頂部
⑥密封材料:氟橡膠
⑦閥門位置:常閉
⑧設(shè)定點命令信號:0-5 VDC(0-10 VDC,可選)
⑨電源要求:24 VDC(±10%),<4瓦
⑩流量輸入輸出信號:0-5 VDC(0-10 VDC,可選)
?模擬I/O連接器:9針D型
?重量:0.68磅(310克)(錄像機)
?儲存溫度:-20°至65°C(-4°至149°F)
6、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列RS485通信選項
①所需輸入功率:24 VDC(±10%),小于4瓦
②連接器:9針D型公頭(電源和通訊)
③數(shù)據(jù)速率開關(guān)/選擇:無開關(guān)
④通過RS485設(shè)置數(shù)據(jù)速率MFC:無開關(guān)
⑤MFM:不適用
⑥通訊。費率9.6 Kbps,19.2 Kbps,38.4 Kbps
⑦MFM:不適用不適用
⑧MAC ID開關(guān)/地址:通過RS485設(shè)置地址站地址0,0至9,9
⑨網(wǎng)絡(luò)規(guī)模:最多32個節(jié)點
⑩視覺指示器:LED電源LED運行(綠色)
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