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品牌大意：Moduteck是你的控制氣體壓力的合作伙伴。擁有超過20年的經(jīng)驗，他們能夠使氣體壓力控制取決于熱量需求，調(diào)整壓力調(diào)節(jié)器對許多應用。同時他們的名字被許多制造商(丙烷)燃氣用具聞名。Modutek在濕式工作臺和半導體濕法工藝設備的設計和生產(chǎn)方面擁有40年的成功經(jīng)驗，將經(jīng)驗與從內(nèi)部開發(fā)中獲得的專業(yè)知識相結(jié)合。這種組合使公司能夠提供具有出色可靠性和低總擁有成本的高質(zhì)量產(chǎn)品。Modutek是客戶的一站式目的地，從設計批準到安裝到最終驗收，提供滿足客戶需求的標準和定制解決方案。小編現(xiàn)在就來分享給大家《MODUTECK,美國MODUTECK壓力調(diào)節(jié)器,MODUTECK高級濕處理設備》的產(chǎn)品內(nèi)容，大家趕緊來學習一下吧。
一、美國MODUTECK公司簡介
Modutek Corporation最初成立于1980年，開始為快速發(fā)展的半導體行業(yè)制造濕法工藝設備組件。他們的專長包括高溫石英加熱浴、低溫過濾系統(tǒng)、氮化物蝕刻浴和沖洗系統(tǒng)。他們最初的市場既向最終用戶銷售，也向OEM的濕式工作臺加工站提供支持。在90年代初期，與半導體行業(yè)相關的環(huán)境問題成為人們關注的問題。為了幫助支持這個不斷增長的市場，Modutek收購了Shannon Engineering并將名稱更改為Pollution Control Laboratories(PCL)。新的環(huán)保集團作為Modutek的子公司運營，生產(chǎn)空氣洗滌器、酸中和系統(tǒng)和化學品輸送系統(tǒng)。到90年代末，Modutek放棄了子公司。從那時起，這些環(huán)境系統(tǒng)就以Modutek品牌制造。
隨著濕法工藝設備的新技術進步，Modutek于2002年收購了Sysmax Inc.，這為他們提供了自動化靈活性、真空蝕刻系統(tǒng)(VES)和旋轉(zhuǎn)工藝系統(tǒng)(SPS)。這兩個系統(tǒng)都是業(yè)界獨有的，因為VES在真空下蝕刻鋁，而SPS旋轉(zhuǎn)兩個晶圓載體并在蝕刻和沖洗之間轉(zhuǎn)移它們，占用空間非常小。Sysmax最初作為Modutek的子公司運營了兩年。現(xiàn)在客戶可以購買Modutek公司名下的所有設備。多年來，半導體濕法工藝設備制造商和整個科技行業(yè)經(jīng)受住了許多業(yè)務低迷的考驗。自2000年以來，他們已經(jīng)看到他們的許多OEM濕法加工臺制造商離開了這個行業(yè)。這為Modutek提供了絕佳的擴張機會。憑借他們現(xiàn)在的完整背景，他們已經(jīng)能夠?qū)⒆约憾ㄎ粸榻昏€匙濕式工作臺制造業(yè)務。
二、美國MODUTECK部分產(chǎn)品介紹
1、美國MODUTECK旋轉(zhuǎn)晶圓蝕刻系統(tǒng)特點
①Model-SPS通過在工藝循環(huán)期間旋轉(zhuǎn)晶圓舟并從化學工藝浴快速轉(zhuǎn)移到淬火槽來產(chǎn)生一致的結(jié)果。
②帶編碼器的閉環(huán)電機控制提供精確的旋轉(zhuǎn)攪拌。
③基于微處理器的觸摸屏系統(tǒng)提供可靠和精確的過程控制。所有操作員控件都易于操作和訪問。
④最多可以通過觸摸屏對5個過程“配方”進行編程。該屏幕在單個屏幕上顯示“配方”和過程信息的摘要，以便于參考。
⑤高吞吐量。雙密封結(jié)構。
⑥N2壓力丟失時的“故障保護”功能。
⑦精確控制浴溫。兩個具有過溫保護的液位傳感器。
⑧與腐蝕性液體接觸的所有部件均由惰性塑料制成或密封以防止直接接觸。
2、美國MODUTECK真空金屬蝕刻機
Modutek的真空金屬蝕刻機Model-VES是一款全自動批處理處理器，專為半導體晶圓上鋁層的精確濕化學蝕刻而設計。晶圓在真空下被蝕刻，因此氫氣泡（一種導致“雪花”和“橋接”的蝕刻反應）立即從晶圓表面去除并通過抽真空泵排出。該裝置最多可處理兩(2)個150MM晶圓盒或一(1)個200MM晶圓盒。
3、美國MODUTECK手動式工作臺
①用于酸堿工藝的白色聚丙烯結(jié)構
②用于溶劑應用的不銹鋼結(jié)構
③可提供任何尺寸和長度以滿足您的要求
④根據(jù)NFPA 70和79接線的所有站
⑤帶蘑菇按鈕和所有安全聯(lián)鎖裝置的緊急斷電(EPO)
⑥所有帶有1”唇形排氣口的工藝罐
⑦N2頭殼吹掃
⑧與EPO互鎖的光螺旋
⑨PVC安全防護罩
⑩Teflon N2噴槍和去離子水手噴
?連續(xù)流動去離子水歧管
?腳輪和腿矯直機
?所有零件保修一年
?2份紙質(zhì)手冊和一套完整的無紙化
4、美國MODUTECK溫控循環(huán)器RCe系列產(chǎn)品系統(tǒng)規(guī)格
①加熱容量：標準-1500W(可根據(jù)要求提供其他尺寸)
②冷卻能力：標準-1/4hp(可根據(jù)要求提供其他尺寸)
③可選配塑料的不銹鋼水箱
④精度：0.2ºC–取決于控制器
⑤水庫填充：裝置頂部
⑥尺寸：20.5英寸(長)x 25英寸(寬)x 15.25英寸(高)
5、美國MODUTECK快速轉(zhuǎn)儲沖洗器的特點和優(yōu)點
①快速傾倒頂部噴霧
②360度溢流堰
③輪廓容器設計
④大型機加工翻斗門
⑤帶有低霧化噴嘴的雙頭頂噴霧歧管
⑥促進層流，同時最大限度地減少顆粒污染
⑦減少去離子水的消耗
⑧加快轉(zhuǎn)儲時間并消除顆粒截留
⑨消除過度噴涂條件
三、美國MODUTECK主要產(chǎn)品和型號
1、美國MODUTECK主要產(chǎn)品
①美國MODUTECK快速轉(zhuǎn)儲沖洗器
②美國MODUTECK高級濕處理設備
③美國MODUTECK濕基和化學站
④美國MODUTECK硅蝕刻組件
⑤美國MODUTECK壓力調(diào)節(jié)器
2、美國MODUTECK產(chǎn)品型號
①美國MODUTECK溫控循環(huán)器RCe系列產(chǎn)品系統(tǒng)
②美國MODUTECK Moduteck壓力調(diào)節(jié)器型號：MS 20、MS 40、MS 60
③美國MODUTECK DR SERIES快速卸料沖洗器
④美國MODUTECK溫控循環(huán)器RCe系列
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